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离子泵

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离子泵

  • 所属分类:离子泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2016/09/27
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详细介绍

离子泵


溅射离子泵(SP)可获得清洁无油超高真空,它具有许多独特的优点,

已得到广泛的应用。

特点:

没有工作液,不污染系统;

无震动、无噪声;

工作压强范围宽(1x10负4-1x10负11托);

寿命长,在1x10负7托工作寿命可达30年;

不用真空计可知真空度;

不用检漏仪可对系统进行检漏。

应用:

加速器    表面物理

储存环    材料研究

电子显微镜  宇宙模拟

质谱仪    大功率激光研究

真空电子器件

三级泵与二级泵的区别:

三极泵对惰性气体的抽速大得多。以下情况建议使用三极溅射离子泵:

1、不断有惰性气体进入真空系统;

2、在大型真空系统中离子泵与升华泵或吸气剂泵结合使用。


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